中(zhōng)國科學院柔性壓力傳感器新進展

近日，中(zhōng)國科學院深圳先進技術研究院先進材料研究中(zhōng)心汪正平與孫蓉領導的先進電(diàn)子封裝材料科研團隊，研發出一(yī)種新型的柔性壓力傳感器，相關成果以Flexible and Highly Sensitive Pressure Sensor Based on Microdome-Patterned PDMS Forming with Assistance of Colloid Self-Assembly and Replica Technique for Wearable Electronics爲題，在線發表在ACS applied Materials & Interfaces上。

柔性壓力傳感器是一(yī)種用于感知(zhī)物(wù)體(tǐ)表面作用力大(dà)小(xiǎo)的柔性電(diàn)子器件，能貼附于各種不規則物(wù)體(tǐ)表面，在醫療健康、機器人、生(shēng)物(wù)力學等領域有着廣泛的應用前景。随着科學技術的發展，柔性壓力傳感器能否兼具柔韌性和準确測量壓力分(fēn)布信息等功能成爲人們關注的焦點。由于微結構不僅能夠提高傳感器的靈敏度，還能更快地恢複傳感器的彈性形變，具備快速響應能力。因此，構建微結構是提高柔性壓力傳感器綜合性能的有效途徑，成爲學術界和工(gōng)業界的關注重點。

科研團隊巧妙利用聚合物(wù)膠體(tǐ)微球自組裝陣列作爲模闆，通過兩步複制制備了具有微凸點陣列的柔性基底。相對于傳統光刻技術制備微結構矽模闆的方法，該研究采用的全化學法無需依賴昂貴的光刻設備及複雜(zá)的光刻工(gōng)藝，具有制備工(gōng)藝簡單、成本低，可通過膠體(tǐ)微球粒徑的選擇來調控柔性基底微凸點的尺寸等優勢。所制柔性壓力傳感器具有高靈敏度、快速的響應時間和良好的穩定性，對低壓段壓力具有較強靈敏性等特點。

研究工(gōng)作得到國家重點研發專項、國家自然科學基金、廣東省高密度電(diàn)子封裝關鍵材料重點實驗室、中(zhōng)科院深圳先進院優秀青年創新基金等的支持。